2023 / 04 / 27
氣體質量流量計與質量流量控制器是指主要適用小微流量（從0.000001m³/小時到300m³/小時，對應管徑從直徑3mm到65mm）氣體測量和控制的傳感器和自動化設備。按原理分類主要有兩種：1、層流壓差原理的氣體質量流量計與質量流量控制器；2、熱式原理的氣體質量流量計與質量流量控制器。
層流壓差原理圖
層流壓差原理的質量流量計和質量流量控制器，因其原理特點，只需檢測到氣體壓差、壓力和溫度，即可測控氣體流量。易度自主設計的傳感器可檢測到極微小流量下產生的壓力、壓差，因此易度質量流量計和質量流量控制器可測控極微小氣體流量，標準型最小測控量程0.5sccm（更小量程可定制）。那么0.5sccm是個什么概念？
易度層流壓差流量計
0.5sccm是標準狀況下0.5ml/min（毫升每分鐘），
也就是500uL/min（微升每分鐘），
按正常量程比：100:1來算，其實際測控范圍是5uL/min~500uL/min，
最小測控流量5uL/min是什么概念?
83nL/s（納升每分鐘）。這個流量有多小？
舉例來說：一瓶礦泉水通常容積為550mL，如果給礦泉水空瓶充滿氣體到標況溫度和壓力下，大約需要110000分鐘，1833個小時，76天。
易度極微小層流質量流量計和質量流量控制器完全滿足極微小流量測控需求，非常適合在泄漏測試、氣密性測試、微通道反應系統等行業場景下使用。
泄漏測試-醫藥行業包裝 氣密性測試-燃料電池電堆
氣密性測試設備 微通道反應系統
