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  • EMC經濟型
    可選數字或模擬信號,成本低、快速、穩定控制氣體流量

    最小流量:20SCCM     最大流量:250SLPM

    EMC經濟型氣體層流質量流量控制器是一款性價比極高的質量流量控制器,盡管成本較低,但同樣采用層流壓差式原理,和內置壓力、溫度傳感器的精確補償,有數字信號RS485款和模擬信號(0~5)V/(4~20)mA款可供選擇,精度可達±1.0%滿量程,具有高重復性、自動測量控制和寬溫度壓力適用范圍等特點。

    特征
    • 提供
      上位機軟件
      實時顯示和下載數據信息
      上位機軟件實時顯示和下載數據信息
    • 可選模擬信號、數字信號
      (4~20)mA/(0~5)V、RS485
      傳輸方式
      (4~20)mA/(0~5)V、RS485傳輸方式
    • 寬溫度、壓力適用范圍
      -20℃~60℃、1Mpa
      以內
      -20℃~60℃、1Mpa以內
    • 高重復性
      ±0.2%
      F.S.
      ±0.2%F.S.
    • 精度
      ±1.0%
      滿量程精度
      ±1.0%滿量程精度
    • 原理
      層流壓差式
      流量控制器
      層流壓差式流量控制器
    使用條件
    安裝方式
    無指定(任意角度)
    Installation method
    消耗電流
    <500mA (供電電壓為24v時)(<12V)
    Current consumption
    供電電壓
    24V ± 20%
    Supply voltage
    耐壓
    1.5Mpa
    Withstand voltage
    最大工作壓力
    1Mpa
    Working pressure
    使用濕度
    0% ~98%(無冷凝)
    Operating humidity
    環境溫度
    -20℃~60℃
    Ambient temperature
    介質溫度
    -20℃~50℃
    Medium temperature
    工作流量范圍
    1%~100%F.S.
    Working flow range
    兼容內置
    70+種氣體和可編輯的混合氣體
    Compatible
    規格型號
    應用領域
    實驗裝置

    混氣實驗和配氣裝置

    鍍膜設備

    濺射鍍膜設備中的流控器件

    熱噴涂設備

    熱噴涂過程的流量控制

    光伏設備

    光伏行業集成設備中的流控器件

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