匹配科學工作者的質量流量計
能放在掌心的流量校準裝置
高品質配套過程測量的質量流量計
穩定的工業設備集成質量流量計
適用大多數實驗室的標準型流量控制器
高品質配套過程控制的質量流量控制器
穩定的工業設備集成質量流量控制器
最小流量：0.5SCCM 最大流量：5000SLPM
EC300系列氣體層流質量流量控制器與SC100標準型氣體層流質量流量控制器的區別在于沒有觸摸式顯示屏，通過產品內置的壓力、溫度傳感器的精確補償及獨創核心算法，在低零點、溫度、壓力漂移量上表現出了杰出性能。堅固的金屬外殼，使產品在工業復雜環境下確保耐用性和強抗電磁干擾性能。內置多種氣體和混氣設置，數字式和模擬式的通訊方式，實現流量的精確測量和控制。
EC300A 通用型 | 0.5 SCCM ~ 5000 SLPM
EC300C 耐腐蝕型 | 0.5 SCCM ~ 5000 SLPM
EC300D 半導體型 | 0.5 SCCM ~ 5000 SLPM
EC300E 半導體耐腐蝕型 | 0.5 SCCM ~ 5000 SLPM
EC300F 抗吸附型 | 0.5 SCCM ~ 5000 SLPM
熱噴涂過程的流量控制
光伏行業集成設備中的流控器件
濺射鍍膜設備中的流控器件
