最小流量：0.5SCCM 最大流量：5000SLPM
EC300系列氣體層流質(zhì)量流量控制器與SC100標準型氣體層流質(zhì)量流量控制器的區(qū)別在于沒有觸摸式顯示屏，通過產(chǎn)品內(nèi)置的壓力、溫度傳感器的精確補償及獨創(chuàng)核心算法，在低零點、溫度、壓力漂移量上表現(xiàn)出了杰出性能。堅固的金屬外殼，使產(chǎn)品在工業(yè)復雜環(huán)境下確保耐用性和強抗電磁干擾性能。內(nèi)置多種氣體和混氣設置，數(shù)字式和模擬式的通訊方式，實現(xiàn)流量的精確測量和控制。
