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  • EC300系列
    ±1%設定值精度,支持多種數字通訊方式

    最小流量:0.5SCCM     最大流量:5000SLPM

    EC300系列氣體層流質量流量控制器與SC100標準型氣體層流質量流量控制器的區別在于沒有觸摸式顯示屏,通過產品內置的壓力、溫度傳感器的精確補償及獨創核心算法,在低零點、溫度、壓力漂移量上表現出了杰出性能。堅固的金屬外殼,使產品在工業復雜環境下確保耐用性和強抗電磁干擾性能。內置多種氣體和混氣設置,數字式和模擬式的通訊方式,實現流量的精確測量和控制。

    特征
    • 提供
      上位機軟件
      實時顯示和下載數據信息
      上位機軟件實時顯示和下載數據信息
    • 可選模擬信號、數字信號
      (0~5)V、RS485
      傳輸方式方式
      (0~5)V、RS485傳輸方式方式
    • 寬溫度、壓力適用范圍
      -20℃~60℃、900KpA
      以內
      -20℃~60℃、900KpA以內
    • 高重復性
      ±0.2%
      F.S.
      ±0.2%F.S.
    • 精度
      ±1.0%
      設定值精度
      ±1.0%設定值精度
    • 原理
      層流壓差式
      流量控制器
      層流壓差式流量控制器
    使用條件
    兼容內置
    70+種氣體和可編輯的混合氣體
    Compatible
    工作流量范圍
    0.5%~100%F.S.
    Working flow range
    安裝方式
    無指定(任意角度)
    Installation method
    消耗電流
    <300mA (<7.2W)
    Current consumption
    供電電壓
    24V±20%
    Supply voltage
    耐壓
    1.5Mpa
    Withstand voltage
    最大工作壓力
    900KpaA
    Working pressure
    使用濕度
    0% ~98%(無冷凝)
    Operating humidity
    環境溫度
    -20℃~50℃
    Ambient temperature
    介質溫度
    -20℃~60℃
    Medium temperature
    規格型號
    應用領域
    熱噴涂設備

    熱噴涂過程的流量控制

    光伏設備

    光伏行業集成設備中的流控器件

    鍍膜設備

    濺射鍍膜設備中的流控器件

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