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  • 簡(jiǎn)體中文
    半導(dǎo)體

    目前國(guó)外的半導(dǎo)體行業(yè)多使用壓差式的產(chǎn)品,易度作為國(guó)內(nèi)唯一一家層流壓差質(zhì)量流量控制器生產(chǎn)廠家,能夠?yàn)榭蛻籼峁└黝惲黧w測(cè)控解決方案。

    應(yīng)用場(chǎng)景
    • 光伏行業(yè)中薄膜生長(zhǎng)設(shè)備對(duì)工藝氣體的控制
    • 發(fā)光二極管(LED)中的氧化擴(kuò)散
    • 原子層沉積系統(tǒng)中氣體流量控制
    • 光刻機(jī)、刻蝕設(shè)備中對(duì)工藝氣體的精確控制
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