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  • 簡體中文
    EC200系列
    ±1%設(shè)定值精度,支持多種數(shù)字通訊方式

    最小流量:5SCCM     最大流量:500SLPM

    EC200系列氣體層流質(zhì)量流量控制器與SC100標(biāo)準(zhǔn)型氣體層流質(zhì)量流量控制器的區(qū)別在于沒有觸摸式顯示屏,通過產(chǎn)品內(nèi)置的壓力、溫度傳感器的精確補(bǔ)償及獨(dú)創(chuàng)核心算法,在低零點(diǎn)、溫度、壓力漂移量上表現(xiàn)出了杰出性能。堅(jiān)固的金屬外殼,使產(chǎn)品在工業(yè)復(fù)雜環(huán)境下確保耐用性和強(qiáng)抗電磁干擾性能。內(nèi)置多種氣體和混氣設(shè)置,數(shù)字式和模擬式的通訊方式,實(shí)現(xiàn)流量的精確測量和控制。

    特征
    • 原理
      層流壓差式
      流量控制器
      層流壓差式流量控制器
    • 精度
      ±1.0%
      設(shè)定值精度
      ±1.0%設(shè)定值精度
    • 高重復(fù)性
      ±0.2%
      F.S.
      ±0.2%F.S.
    • 寬溫度、壓力適用范圍
      0℃~50℃、650KpA
      以內(nèi)
      0℃~50℃、650KpA以內(nèi)
    • 可選模擬信號、數(shù)字信號
      (0~5)V、RS485
      傳輸方式方式
      (0~5)V、RS485傳輸方式方式
    • 提供
      上位機(jī)軟件
      實(shí)時(shí)顯示和下載數(shù)據(jù)信息
      上位機(jī)軟件實(shí)時(shí)顯示和下載數(shù)據(jù)信息
    使用條件
    兼容內(nèi)置
    70+種氣體和可編輯的混合氣體
    Compatible
    工作流量范圍
    1%~100%F.S.
    Working flow range
    安裝方式
    無指定(任意角度)
    Installation method
    消耗電流
    <300mA (<7.2W)
    Current consumption
    供電電壓
    24V±20%
    Supply voltage
    耐壓
    1.5Mpa
    Withstand voltage
    最大工作壓力
    650KpaA
    Working pressure
    使用濕度
    0% ~98%(無冷凝)
    Operating humidity
    環(huán)境溫度
    0℃~50℃
    Ambient temperature
    介質(zhì)溫度
    0℃~50℃
    Medium temperature
    規(guī)格型號
    應(yīng)用領(lǐng)域
    鍍膜設(shè)備

    濺射鍍膜設(shè)備中的流控器件

    光伏設(shè)備

    光伏行業(yè)集成設(shè)備中的流控器件

    熱噴涂設(shè)備

    熱噴涂過程的流量控制

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