最小流量：5SCCM 最大流量：500SLPM
EC200系列氣體層流質(zhì)量流量控制器與SC100標(biāo)準(zhǔn)型氣體層流質(zhì)量流量控制器的區(qū)別在于沒有觸摸式顯示屏，通過產(chǎn)品內(nèi)置的壓力、溫度傳感器的精確補(bǔ)償及獨(dú)創(chuàng)核心算法，在低零點(diǎn)、溫度、壓力漂移量上表現(xiàn)出了杰出性能。堅(jiān)固的金屬外殼，使產(chǎn)品在工業(yè)復(fù)雜環(huán)境下確保耐用性和強(qiáng)抗電磁干擾性能。內(nèi)置多種氣體和混氣設(shè)置，數(shù)字式和模擬式的通訊方式，實(shí)現(xiàn)流量的精確測量和控制。
EC200A 通用型 | 5 SCCM ~ 500 SLPM
EC200B 經(jīng)濟(jì)型 | 5 SCCM ~ 500 SLPM
EC200C 耐腐蝕型 | 5 SCCM ~ 500 SLPM
EC200D 半導(dǎo)體型 | 5 SCCM ~ 500 SLPM
EC200E 半導(dǎo)體耐腐蝕型 | 5 SCCM ~ 500 SLPM
EC200F 抗吸附型 | 5 SCCM ~ 500 SLPM
EC200A 通用型 | 5 SCCM ~ 500 SLPM
