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  • MC100-WR寬量程型
    更寬量程范圍內保證產品測量控制精度

    最小流量:0.1SCCM     最大流量:5000SLPM

    MC100-WR寬量程氣體層流質量流量控制器在MC100標準型氣體層流質量流量控制器的基礎上提高2倍的可精確測量范圍,實現在10%~100%的量程范圍內達到1%設定值精度,并通過產品內置的壓力、溫度傳感器的精確補償及獨創核心算法,在低零點、溫度、壓力漂移量上表現出了杰出性能。同時,內置多種氣體和混氣設置,有效簡化了系統的復雜度,減少客戶采購成本,提高系統的穩定度。

    特征
    • 原理
      層流壓差式
      流量控制器
      層流壓差式流量控制器
    • 保證精度的流量范圍
      10%~100%
      F.S.
      10%~100%F.S.
    • 高精度
      ±1.0%
      設定值精度
      ±1.0%設定值精度
    • 高重復性
      ±0.1%
      F.S.
      ±0.1%F.S.
    • 可選模擬信號、數字信號
      (0~5)V、RS485
      傳輸方式
      (0~5)V、RS485傳輸方式
    • 內置
      70+種
      氣體和混氣測量
      70+種氣體和混氣測量
    • 提供
      上位機軟件
      實時顯示和下載數據信息
      上位機軟件實時顯示和下載數據信息
    使用條件
    兼容內置
    70+種氣體和可編輯的混合氣體
    Compatible
    工作流量范圍
    1%~120%F.S.
    Working flow range
    介質溫度
    -20~60℃
    Medium temperature
    環境溫度
    -20~50℃
    Ambient temperature
    使用濕度
    0~98%(無冷凝)
    Operating humidity
    最大工作壓力
    1Mpa
    Working pressure
    耐壓
    1.5Mpa
    Withstand voltage
    供電電壓
    ﹢(18~30)VDC
    Supply voltage
    消耗電流
    <150mA (供電電壓為24v時) <300mA(<5V)
    Current consumption
    安裝方式
    無指定(任意角度)
    Installation method
    規格型號
    應用領域
    標定系統

    標定系統中的流量控制器件

    大范圍流控

    需要大范圍調整流量的流控系統或設備集成

    簡化集成

    為簡化集成設備或對設備體積比較敏感的客戶

    實驗研究

    需要調控比較大流量范圍的實驗研究場合

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