最小流量：2SCCM 最大流量：2000SLPM
EC400系列氣體層流質(zhì)量流量控制器與SC100標(biāo)準(zhǔn)型氣體層流質(zhì)量流量控制器的區(qū)別在于沒(méi)有觸摸式顯示屏，通過(guò)產(chǎn)品內(nèi)置的壓力、溫度傳感器的精確補(bǔ)償及獨(dú)創(chuàng)核心算法，在低零點(diǎn)、溫度、壓力漂移量上表現(xiàn)出了杰出性能。堅(jiān)固的金屬外殼，使產(chǎn)品在工業(yè)復(fù)雜環(huán)境下確保耐用性和強(qiáng)抗電磁干擾性能。內(nèi)置多種氣體和混氣設(shè)置，數(shù)字式和模擬式的通訊方式，實(shí)現(xiàn)流量的精確測(cè)量和控制。
