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EC400系列

±1%設定值精度，支持多種數字通訊方式

最小流量：2SCCM 最大流量：2000SLPM

EC400系列氣體層流質量流量控制器與SC100標準型氣體層流質量流量控制器的區別在于沒有觸摸式顯示屏，通過產品內置的壓力、溫度傳感器的精確補償及獨創核心算法，在低零點、溫度、壓力漂移量上表現出了杰出性能。堅固的金屬外殼，使產品在工業復雜環境下確保耐用性和強抗電磁干擾性能。內置多種氣體和混氣設置，數字式和模擬式的通訊方式，實現流量的精確測量和控制。

特征

原理

層流壓差式

流量控制器

層流壓差式流量控制器
精度

±1.0%

設定值精度

±1.0%設定值精度
高重復性

±0.1%

F.S.

±0.1%F.S.
寬溫度、壓力適用范圍

-20℃~60℃、900KpA

以內

-20℃~60℃、900KpA以內
可選模擬信號、數字信號

(0~5)V、RS485

傳輸方式方式

(0~5)V、RS485傳輸方式方式
提供

上位機軟件

實時顯示和下載數據信息

上位機軟件實時顯示和下載數據信息

使用條件

兼容內置

70+種氣體和可編輯的混合氣體

Compatible

工作流量范圍

0.5%~100%F.S.

Working flow range

安裝方式

無指定（任意角度）

Installation method

消耗電流

＜300mA (＜7.2W)

Current consumption

供電電壓

24V±20%

Supply voltage

耐壓

1.5Mpa

Withstand voltage

最大工作壓力

900KpaA

Working pressure

使用濕度

0% ~98%（無冷凝）

Operating humidity

環境溫度

-20℃~50℃

Ambient temperature

介質溫度

-20℃~60℃

Medium temperature

規格型號

EC400A 通用型

EC400A 通用型 | 2 SCCM ~ 2000 SLPM

應用領域

鍍膜設備

濺射鍍膜設備中的流控器件

光伏設備

光伏行業集成設備中的流控器件

熱噴涂設備

熱噴涂過程的流量控制

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