最小流量：0.1SCCM 最大流量：500SLPM
M100-PL/PLG低(極低)壓損氣體層流質量流量計滿量程壓損最低可至400Pa,低壓損可最大程度減少氣路系統造成的波動影響，可在接近大氣壓的壓力下或在可用系統壓力很小的情況下進行流量測量，保證流量測量更加準確和穩定。
PIPG-M101-PL/PLG-00-0500 | 0.5 SCCM
PIPG-M101-PL/PLG-01-0001 | 1 SCCM
PIPG-M101-PL/PLG-01-0002 | 2 SCCM
PIPG-M101-PL/PLG-01-0005 | 5 SCCM
PIPG-M101-PL/PLG-01-0010 | 10 SCCM
PIPG-M101-PL/PLG-01-0020 | 20 SCCM
PIPG-M102-PL/PLG-01-0050 | 50 SCCM
PIPG-M102-PL/PLG-01-0100 | 100 SCCM
PIPG-M102-PL/PLG-01-0200 | 200 SCCM
PIPG-M102-PL/PLG-01-0500 | 500 SCCM
PIPG-M102-PL/PLG-01-1000 | 1000 SCCM
PIPG-M102-PL/PLG-01-2000 | 2000 SCCM
PIPG-M120-PL/PLG-02-0005 | 5 SLPM
PIPG-M120-PL/PLG-02-0010 | 10 SLPM
PIPG-M120-PL/PLG-02-0020 | 20 SLPM
PIPG-M120-PL/PLG-02-0050 | 50 SLPM
PIPG-M120-PL/PLG-02-0100 | 100 SLPM
PIPG-M120-PL/PLG-02-0200 | 200 SLPM
PIPG-M150-PLG-02-0250 | 250 SLPM
PIPG-M150-PL-02-0500 | 500 SLPM
PIPG-M101-PL/PLG-00-0500 | 0.5 SCCM
PIPG-M101-PL/PLG-01-0001 | 1 SCCM
PIPG-M101-PL/PLG-01-0002 | 2 SCCM
PIPG-M101-PL/PLG-01-0005 | 5 SCCM
PIPG-M101-PL/PLG-01-0010 | 10 SCCM
PIPG-M101-PL/PLG-01-0020 | 20 SCCM
