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  • 簡(jiǎn)體中文
    層流質(zhì)量流量控制器 MASS FLOW CONTROLLER
    易度-氣體質(zhì)量流量控制器

    層流質(zhì)量流量控制器【MASS FLOW CONTROLLER,簡(jiǎn)稱MFC】基于內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差專利技術(shù),【專利號(hào):ZL 2015 1 0610447.5】內(nèi)置壓力和溫度傳感器,能充分補(bǔ)償因溫度和壓力引起的體積流量和質(zhì)量流量間的差異,并根據(jù)作為電信號(hào)發(fā)送的設(shè)定流量通過精密電磁比例調(diào)節(jié)閥自動(dòng)控制氣體流量,從而提供更加準(zhǔn)確和穩(wěn)定的流量測(cè)量和控制。當(dāng)需要精確控制氣體流量或建立自動(dòng)化生產(chǎn)線時(shí),層流質(zhì)量流量控制器可作為不可缺少的設(shè)備在高校科研院所和廣泛的工業(yè)過程自動(dòng)化控制中使用。

    結(jié)構(gòu)和工作原理

    層流質(zhì)量流量控制器由層流元件、壓力傳感器、壓差傳感器、溫度傳感器、精密比例調(diào)節(jié)閥和電路部分組成。

    • 1
      氣體由入口處進(jìn)入

      經(jīng)過層流元件將不規(guī)則的湍流狀態(tài)規(guī)整為規(guī)則的層流運(yùn)動(dòng)狀態(tài)

    • 2
      通過內(nèi)置的壓差傳感器

      測(cè)得層流元件的兩端壓力差,轉(zhuǎn)化為電信號(hào),計(jì)算工況流量

    • 3
      通過溫度傳感器和壓力傳感器

      實(shí)時(shí)采集并修正補(bǔ)償因溫度和壓力造成的波動(dòng),計(jì)算為標(biāo)況體積流量,即質(zhì)量流量;

    • 4
      比例調(diào)節(jié)閥修改流量

      使測(cè)得的質(zhì)量流量與從外部流量設(shè)置信號(hào)接收到的流量之間的差為零;

    • 5
      這些單元具有回路

      因此即使發(fā)生二次壓力或環(huán)境溫度變化,可能會(huì)影響所引入氣體的供應(yīng)壓力,流量也會(huì)立即得到校正,從而確保了穩(wěn)定的流量控制。

    性能優(yōu)勢(shì)
    • 設(shè)定值精度
      0.5~1.0級(jí)
      0.5~1.0級(jí)
    • 無需轉(zhuǎn)換系數(shù)
      多氣體、多量程
      70+種氣體、混氣
      多氣體、多量程70+種氣體、混氣
    • 響應(yīng)時(shí)間
      500ms以下
      無需預(yù)熱
      500ms以下無需預(yù)熱
    • 精確的
      壓力和溫度補(bǔ)償
      壓力和溫度補(bǔ)償
    • 可選擇的
      觸摸式顯示屏、電池包
      觸摸式顯示屏、電池包
    • 符合GB/T標(biāo)準(zhǔn)
      抗電磁干擾性強(qiáng)
      抗電磁干擾性強(qiáng)
    • 堅(jiān)固的
      金屬外殼
      金屬外殼
    產(chǎn)品系列
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