最小流量:0.01SCCM 最大流量:5000SLPM
E系列氣體層流質量流量計是M系列的升級款,體積更小,性能更強,特有的層流壓差技術,配合高精度壓力、溫度傳感器實現的補償,及獨創核心算法,使得產品具有高精度、高重復性、低零點、溫度、壓力漂移量的特點,模擬信號和數字信號的通訊方式,適用于配套過程控制的客戶。
型 號 |
E100 |
E200 |
E300 |
E400 |
E450 |
流量規格 |
20SCCM~500SLPM |
10SCCM~500SLPM |
0.5SCCM~5000SLPM |
2SCCM~2000SLPM |
2SCCM~2000SLPM |
性能參數 |
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準 確 度 |
E100:±1.0%F.S. (2%~100% F.S.) E200:±1.0%Rd(30%~±100%F.S.) ±0.3%F.S.(1%~30%F.S.) E300:±1.0%Rd(20%~100%F.S.) ±0.2%F.S.(0.5%~20%F.S.) E400:±1.0%Rd(10%~100%F.S.) ±0.1%F.S.(0.5%~10%F.S.) E450:±0.5%Rd(20%~100%F.S.) ±0.1%F.S.(0.5%~20%F.S.) |
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重復精度 |
E100、E200:±0.2%F.S. E300:±0.2%Rd(20%~100%F.S.) ±0.04%F.S.(0.5%~20%F.S.) E400、E500:±0.1%Rd(20%~100%F.S.) ±0.02%F.S.(0.5%~20%F.S.) |
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壓力漂移 |
E100、E200:≤±0.1%F.S./100kPa(基準壓力100kPaA) E300、E400、E450:≤±0.1%Rd/100kPa(基準壓力100kPaA)
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溫度漂移 |
E100、E200:≤±0.05%F.S./℃(基準溫度25℃) E300、E400、E450:≤±0.02%F.S./℃(基準溫度25℃) |
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工作范圍 |
E100:2%~100%F.S. E200:1%~100%F.S. E300、E400、E450:0.5%~100%F.S. |
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響應時間 |
≤100ms |
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啟動預熱時間 |
≤1s |
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使用條件 |
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介質溫度范圍 |
E100、E200:0℃~50℃ E300、E400、E450:-20℃~50℃ |
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環境溫度范圍 |
E100、E200:0℃~50℃ E300、E400、E450:-20℃~50℃ |
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使用濕度范圍 |
0%~98%(無冷凝) |
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滿量程壓損 |
10kPa(≤5SLPM);60kPa(10SLPM);8kPa(20~50SLPM);10kPa(100SLPM);15kPa(200SLPM);
19kPa(500SLPM);23kPa(1000SLPM);22kPa(1500~2500SLPM);35kPa(3000~5000SLPM) |
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耐 壓 |
1.5MPa |
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最大工作壓力 |
E100、E200:650KpaA E300、E400、E450:900KpaA |
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供電電壓 |
24V±20% |
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消耗電流 |
< 150mA(<3.6W) |
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安裝方式 |
無指定(任意角度) |
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接氣部材質 |
SUS316L、FKM、FFKM、EPDM、Neoprene |
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輸出方式 |
RS485、PROFIBUS、EtherCAT,PROFINET,DeviceNet、4~20mA / 0~5V |