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  • E系列氣體層流質量流量計
    穩定的工業設備集成質量流量計

    最小流量:0.01SCCM     最大流量:5000SLPM

    E系列氣體層流質量流量計是M系列的升級款,體積更小,性能更強,特有的層流壓差技術,配合高精度壓力、溫度傳感器實現的補償,及獨創核心算法,使得產品具有高精度、高重復性、低零點、溫度、壓力漂移量的特點,模擬信號和數字信號的通訊方式,適用于配套過程控制的客戶。

    特征
    • 量程范圍
      0.5SCCM~5000SLPM
      其他量程可定制
      0.5SCCM~5000SLPM其他量程可定制
    • 高精度(可溯源)
      ±0.5%~±1.0%
      讀數精度
      ±0.5%~±1.0%讀數精度
    • 快速響應
      100ms
      無需預熱
      100ms無需預熱
    • 通訊方式
      多種通訊方式
      兼容數字信號、模擬信號
      多種通訊方式兼容數字信號、模擬信號
    • 提供
      上位機軟件
      進行數據采集和下載
      上位機軟件進行數據采集和下載
    • 適用范圍
      寬溫度、壓力
      超高低溫、高壓、低壓損可定制
      寬溫度、壓力超高低溫、高壓、低壓損可定制
    • 高可靠性
      高抗過載、抗電磁干擾
      能力
      高抗過載、抗電磁干擾能力
    • 寬量程比
      100:1
      可定制量程比
      100:1可定制量程比
    應用領域
    設備配套

    流量型檢漏設備配套

    消耗測量

    用于內部會計目的的氣體分配系統中的氣體消耗測量

    流量監控

    食品、化工等行業的氣體流量監控

    密封性測試

    快速密封性測試

    技術參數

    型     號

    E100

    E200

    E300

    E400

    E450

    流量規格

      20SCCM~500SLPM

      10SCCM~500SLPM

     0.5SCCM~5000SLPM

    2SCCM~2000SLPM

    2SCCM~2000SLPM

    性能參數

    準 確 度

    E100:±1.0%F.S. (2%~100% F.S.)

                         E200:±1.0%Rd(30%~±100%F.S.)   ±0.3%F.S.(1%~30%F.S.)

                         E300:±1.0%Rd(20%~100%F.S.)   ±0.2%F.S.(0.5%~20%F.S.)

                         E400:±1.0%Rd(10%~100%F.S.)   ±0.1%F.S.(0.5%~10%F.S.)

                         E450:±0.5%Rd(20%~100%F.S.)   ±0.1%F.S.(0.5%~20%F.S.)

    重復精度

    E100、E200:±0.2%F.S.

    E300:±0.2%Rd(20%~100%F.S.)   ±0.04%F.S.(0.5%~20%F.S.)

    E400、E500:±0.1%Rd(20%~100%F.S.)   ±0.02%F.S.(0.5%~20%F.S.)

    壓力漂移

    E100、E200:≤±0.1%F.S./100kPa(基準壓力100kPaA)

    E300、E400、E450:≤±0.1%Rd/100kPa(基準壓力100kPaA)

    溫度漂移

    E100、E200:≤±0.05%F.S./℃(基準溫度25℃)

    E300、E400、E450:≤±0.02%F.S./℃(基準溫度25℃)

    工作范圍

    E100:2%~100%F.S.

    E200:1%~100%F.S.

    E300、E400、E450:0.5%~100%F.S.

    響應時間

    ≤100ms

    啟動預熱時間

    ≤1s

    使用條件

    介質溫度范圍

    E100、E200:0℃~50℃

    E300、E400、E450:-20℃~50℃

    環境溫度范圍

    E100、E200:0℃~50℃

    E300、E400、E450:-20℃~50℃

    使用濕度范圍

    0%~98%(無冷凝)

    滿量程壓損
    10kPa(≤5SLPM);60kPa(10SLPM);8kPa(20~50SLPM);10kPa(100SLPM);15kPa(200SLPM);

    19kPa(500SLPM);23kPa(1000SLPM);22kPa(1500~2500SLPM);35kPa(3000~5000SLPM)

    耐     壓

    1.5MPa

    最大工作壓力

    E100、E200:650KpaA

    E300、E400、E450:900KpaA

     供電電壓

    24V±20%

    消耗電流

    < 150mA(<3.6W)

    安裝方式

    無指定(任意角度)

    接氣部材質

    SUS316L、FKM、FFKM、EPDM、Neoprene

    輸出方式

    RS485、PROFIBUS、EtherCAT,PROFINET,DeviceNet、4~20mA / 0~5V

    尺寸圖
    產品系列
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