最小流量:0.01SCCM 最大流量:5000SLPM
E系列氣體層流質(zhì)量流量計(jì)是M系列的升級(jí)款,體積更小,性能更強(qiáng),特有的層流壓差技術(shù),配合高精度壓力、溫度傳感器實(shí)現(xiàn)的補(bǔ)償,及獨(dú)創(chuàng)核心算法,使得產(chǎn)品具有高精度、高重復(fù)性、低零點(diǎn)、溫度、壓力漂移量的特點(diǎn),模擬信號(hào)和數(shù)字信號(hào)的通訊方式,適用于配套過(guò)程控制的客戶(hù)。
型 號(hào) |
E100 |
E200 |
E300 |
E400 |
E450 |
流量規(guī)格 |
20SCCM~500SLPM |
10SCCM~500SLPM |
0.5SCCM~5000SLPM |
2SCCM~2000SLPM |
2SCCM~2000SLPM |
性能參數(shù) |
|||||
準(zhǔn) 確 度 |
E100:±1.0%F.S. (2%~100% F.S.) E200:±1.0%Rd(30%~±100%F.S.) ±0.3%F.S.(1%~30%F.S.) E300:±1.0%Rd(20%~100%F.S.) ±0.2%F.S.(0.5%~20%F.S.) E400:±1.0%Rd(10%~100%F.S.) ±0.1%F.S.(0.5%~10%F.S.) E450:±0.5%Rd(20%~100%F.S.) ±0.1%F.S.(0.5%~20%F.S.) |
||||
重復(fù)精度 |
E100、E200:±0.2%F.S. E300:±0.2%Rd(20%~100%F.S.) ±0.04%F.S.(0.5%~20%F.S.) E400、E500:±0.1%Rd(20%~100%F.S.) ±0.02%F.S.(0.5%~20%F.S.) |
||||
壓力漂移 |
E100、E200:≤±0.1%F.S./100kPa(基準(zhǔn)壓力100kPaA) E300、E400、E450:≤±0.1%Rd/100kPa(基準(zhǔn)壓力100kPaA)
|
||||
溫度漂移 |
E100、E200:≤±0.05%F.S./℃(基準(zhǔn)溫度25℃) E300、E400、E450:≤±0.02%F.S./℃(基準(zhǔn)溫度25℃) |
||||
工作范圍 |
E100:2%~100%F.S. E200:1%~100%F.S. E300、E400、E450:0.5%~100%F.S. |
||||
響應(yīng)時(shí)間 |
≤100ms |
||||
啟動(dòng)預(yù)熱時(shí)間 |
≤1s |
||||
使用條件 |
|||||
介質(zhì)溫度范圍 |
E100、E200:0℃~50℃ E300、E400、E450:-20℃~50℃ |
||||
環(huán)境溫度范圍 |
E100、E200:0℃~50℃ E300、E400、E450:-20℃~50℃ |
||||
使用濕度范圍 |
0%~98%(無(wú)冷凝) |
||||
滿(mǎn)量程壓損 |
10kPa(≤5SLPM);60kPa(10SLPM);8kPa(20~50SLPM);10kPa(100SLPM);15kPa(200SLPM);
19kPa(500SLPM);23kPa(1000SLPM);22kPa(1500~2500SLPM);35kPa(3000~5000SLPM) |
||||
耐 壓 |
1.5MPa |
||||
最大工作壓力 |
E100、E200:650KpaA E300、E400、E450:900KpaA |
||||
供電電壓 |
24V±20% |
||||
消耗電流 |
< 150mA(<3.6W) |
||||
安裝方式 |
無(wú)指定(任意角度) |
||||
接氣部材質(zhì) |
SUS316L、FKM、FFKM、EPDM、Neoprene |
||||
輸出方式 |
RS485、PROFIBUS、EtherCAT,PROFINET,DeviceNet、4~20mA / 0~5V |