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                    簡(jiǎn)體中文
                

                
                    
                

                
    
                    
                
    
            
    
           
        
    
    
    


    


    
    
    
        
    
            
    
                
    
                    
                    
                
    
            
    
            
        
    
    
    

    


    


    
    
    
    
    
    
    
        
    
    

        
    
        
    
                    
    

                
    
            
    
                
    
                    
    
                        
    S100-WR寬量程型
    
                        
    更寬量程范圍內(nèi)保證產(chǎn)品精度
    
                        
    
                            
    
                                
    最小流量：0.1SCCM     最大流量：5000SLPM
    


    S100-WR寬量程型氣體層流質(zhì)量流量計(jì)在S100標(biāo)準(zhǔn)型層流質(zhì)量流量計(jì)的基礎(chǔ)上提高2倍的可精確測(cè)量范圍，實(shí)現(xiàn)在10%~100%的量程范圍內(nèi)達(dá)到1%讀數(shù)精度，并通過產(chǎn)品內(nèi)置的壓力、溫度傳感器的精確補(bǔ)償及獨(dú)創(chuàng)核心算法，在低零點(diǎn)、溫度、壓力漂移量上表現(xiàn)出了杰出性能。同時(shí)，內(nèi)置多種氣體和混氣設(shè)置，觸屏式操作的自由切換，有效簡(jiǎn)化了系統(tǒng)的復(fù)雜度，減少客戶采購(gòu)成本，提高系統(tǒng)的穩(wěn)定度。
    

                            
    
                        
    
                        
    
                            
                        
    
                    
    
                
    
                
                
    
                    
    
                                                
    
                            
    
                                
                                                            
    
                        
    
                                                
    
                            
    
                                
                                                            
    
                        
    
                                                
    
                            
    
                                
                                                            
    
                        
    
                                            
    
                
    

                
            
    

                        
    
                
    
                    特征
                
    

                
    
                    
      
                                                
    • 
                            
      
                                
      原理
      
                                
      層流壓差式
      
                                
      流量計(jì)
      
                                
      層流壓差式流量計(jì)
      
                            
      
                        
      • 
                                                
    • 
                            
      
                                
      保證精度
      
                                
      10%~100%F.S. 
      
                                
      流量范圍
      
                                
      10%~100%F.S. 流量范圍
      
                            
      
                        
      • 
                                                
    • 
                            
      
                                
      高精度
      
                                
      ±1.0%
      
                                
      讀數(shù)精度
      
                                
      ±1.0%讀數(shù)精度
      
                            
      
                        
      • 
                                                
    • 
                            
      
                                
      高重復(fù)性
      
                                
      ±0.1%
      
                                
      F.S.
      
                                
      ±0.1%F.S.
      
                            
      
                        
      • 
                                                
    • 
                            
      
                                
      自由實(shí)現(xiàn)更改氣體介質(zhì)
      
                                
      觸屏操作
      
                                
      調(diào)整混合氣體比例和修改部分參數(shù)信息
      
                                
      觸屏操作調(diào)整混合氣體比例和修改部分參數(shù)信息
      
                            
      
                        
      • 
                                                
    • 
                            
      
                                
      寬溫度、壓力適用范圍
      
                                
      -20℃~60℃、1Mpa
      
                                
      以內(nèi)
      
                                
      -20℃~60℃、1Mpa以內(nèi)
      
                            
      
                        
      • 
                                                
    • 
                            
      
                                
      實(shí)時(shí)顯示
      
                                
      5種
      
                                
      過程變量
      
                                
      5種過程變量
      
                            
      
                        
      • 
                                                
    • 
                            
      
                                
      內(nèi)置
      
                                
      70+種
      
                                
      氣體和混氣測(cè)量
      
                                
      70+種氣體和混氣測(cè)量
      
                            
      
                        
      • 
                                            
    
                
    
            
    

                        
    
                
    
                    使用條件
                
    

                
    
                    
    
                                                
    
                            
    
                                
    
                                    
    兼容內(nèi)置
    
                                    
    70+種氣體和可編輯的混合氣體
    
                                    
    Compatible
    
                                
    
                            
    
                        
    
                                                
    
                            
    
                                
    
                                    
    工作流量范圍
    
                                    
    1%~120%F.S.
    
                                    
    Working flow range
    
                                
    
                            
    
                        
    
                                                
    
                            
    
                                
    
                                    
    介質(zhì)溫度
    
                                    
    -20℃~50℃
    
                                    
    Medium temperature
    
                                
    
                            
    
                        
    
                                                
    
                            
    
                                
    
                                    
    環(huán)境溫度
    
                                    
    -20℃~50℃
    
                                    
    Ambient temperature
    
                                
    
                            
    
                        
    
                                                
    
                            
    
                                
    
                                    
    使用濕度
    
                                    
    0%~98%（無冷凝）
    
                                    
    Operating humidity
    
                                
    
                            
    
                        
    
                                                
    
                            
    
                                
    
                                    
    最大工作壓力
    
                                    
    1Mpa
    
                                    
    Working pressure
    
                                
    
                            
    
                        
    
                                                
    
                            
    
                                
    
                                    
    耐壓
    
                                    
    1.5Mpa
    
                                    
    Withstand voltage
    
                                
    
                            
    
                        
    
                                                
    
                            
    
                                
    
                                    
    供電電壓
    
                                    
    24V ± 20%
    
                                    
    Supply voltage
    
                                
    
                            
    
                        
    
                                                
    
                            
    
                                
    
                                    
    消耗電流
    
                                    
    ＜150mA   (供電電壓為24v時(shí))
    
                                    
    Current consumption
    
                                
    
                            
    
                        
    
                                                
    
                            
    
                                
    
                                    
    安裝方式
    
                                    
    無指定（任意角度）
    
                                    
    Installation method
    
                                
    
                            
    
                        
    
                                            
    
                    
    
    
        
    
            
                
                    
                
                資源 5
                
                    
                        
                    
                
            
            
                
                    
                    
                
            
        
    
        
        
    
        
    
            
                
                    
                
                資源 5
                
                    
                        
                    
                
            
            
                
                    
                    
                
            
        
    
        
        

                    
    
            
    

                        
    
                
    
                    規(guī)格型號(hào)
                
    

                
    
                    
    
                        
                    
    

                    
    
                        
    PIPG-S101-WR（微流量） 
    
                        
    
                            
    PIPG-S101-WR-00-0500  |  0.5 SCCM
    
PIPG-S101-WR-01-0001  |  1 SCCM
    
PIPG-S101-WR-01-0002  |  2 SCCM
    
PIPG-S101-WR-01-0005  |  5 SCCM
    
PIPG-S101-WR-01-0010  |  10 SCCM
    
PIPG-S101-WR-01-0020  |  20 SCCM
    

                        
    
                    
    
                
    
            
    

                        
    
                
    
                    應(yīng)用領(lǐng)域
                
    

                
    
                    
    
                                                
    
                            
    
                                
    
                                    
    
                                        
                                        
                                    
    
                                    
    標(biāo)準(zhǔn)表 
    
                                
    

                                
    
                                    
    標(biāo)定臺(tái)系統(tǒng)搭建中的標(biāo)準(zhǔn)表
    
                                
    
                            
    
                        
    
                                                
    
                            
    
                                
    
                                    
    
                                        
                                        
                                    
    
                                    
    系統(tǒng)設(shè)備集成 
    
                                
    

                                
    
                                    
    需要大范圍調(diào)整流量的流控系統(tǒng)或設(shè)備集成
    
                                
    
                            
    
                        
    
                                                
    
                            
    
                                
    
                                    
    
                                        
                                        
                                    
    
                                    
    簡(jiǎn)化集成 
    
                                
    

                                
    
                                    
    為簡(jiǎn)化集成設(shè)備或?qū)υO(shè)備體積比較敏感的客戶
    
                                
    
                            
    
                        
    
                                                
    
                            
    
                                
    
                                    
    
                                        
                                        
                                    
    
                                    
    實(shí)驗(yàn)研究 
    
                                
    

                                
    
                                    
    需要調(diào)控比較大流量范圍的實(shí)驗(yàn)研究場(chǎng)合
    
                                
    
                            
    
                        
    
                                            
    

                    
    
    
        
    
            
                
                    
                
                資源 5
                
                    
                        
                    
                
            
            
                
                    
                    
                
            
        
    
        
        
    
        
    
            
                
                    
                
                資源 5
                
                    
                        
                    
                
            
            
                
                    
                    
                
            
        
    
        
        

                    
    
            
    

            
    
        
    
        



    
    

    










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