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SC100-WR寬量程型

更寬量程范圍內(nèi)保證產(chǎn)品精度

最小流量：0.1SCCM 最大流量：500SLPM

SC100-WR寬量程氣體層流質(zhì)量流量控制器在SC100標(biāo)準(zhǔn)型層流質(zhì)量流量控制器的基礎(chǔ)上提高2倍的可精確測(cè)量范圍，實(shí)現(xiàn)在10%~100%的量程范圍內(nèi)達(dá)到1%設(shè)定值精度，并通過產(chǎn)品內(nèi)置的壓力、溫度傳感器的精確補(bǔ)償及獨(dú)創(chuàng)核心算法，在低零點(diǎn)、溫度、壓力漂移量上表現(xiàn)出了杰出性能。同時(shí)，內(nèi)置多種氣體和混氣設(shè)置，觸屏式操作的自由切換，有效簡(jiǎn)化了系統(tǒng)的復(fù)雜度，減少客戶采購(gòu)成本，提高系統(tǒng)的穩(wěn)定度。

特征

原理

層流壓差式

流量控制器

層流壓差式流量控制器
保證精度的流量范圍

10%~100%

F.S.

10%~100%F.S.
高精度

±1.0%

設(shè)定值精度

±1.0%設(shè)定值精度
高重復(fù)性

±0.1%

F.S.

±0.1%F.S.
自由切換更改氣體介質(zhì)、

觸屏點(diǎn)擊輸入設(shè)定流量

調(diào)整混合氣體比例和修改部分參數(shù)信息

觸屏點(diǎn)擊輸入設(shè)定流量調(diào)整混合氣體比例和修改部分參數(shù)信息
寬溫度、壓力適用范圍

-20℃~60℃、1Mpa

以內(nèi)

-20℃~60℃、1Mpa以內(nèi)
可切換

流量計(jì)模式

使用

流量計(jì)模式使用
實(shí)時(shí)顯示

4種

過程變量

4種過程變量
內(nèi)置

70+種

氣體和混氣測(cè)量

70+種氣體和混氣測(cè)量

使用條件

兼容內(nèi)置

70+種氣體和可編輯的混合氣體

Compatible

工作流量范圍

1%~120%F.S.

Working flow range

介質(zhì)溫度

-20℃~60℃

Medium temperature

環(huán)境溫度

-20℃~50℃

Ambient temperature

使用濕度

0%~98%（無冷凝）

Operating humidity

最大工作壓力

1Mpa

Working pressure

耐壓

1.5Mpa

Withstand voltage

供電電壓

﹢（18~30）VDC

Supply voltage

消耗電流

＜150mA (供電電壓為24v時(shí))＜300mA（＜5V）

Current consumption

安裝方式

無指定（任意角度）

Installation method

規(guī)格型號(hào)

PIPG-SC101-WR（微流量）

PIPG-SC101-WR-00-0500 | 0.5 SCCM
PIPG-SC101-WR-01-0001 | 1 SCCM
PIPG-SC101-WR-01-0002 | 2 SCCM
PIPG-SC101-WR-01-0005 | 5 SCCM
PIPG-SC101-WR-01-0010 | 10 SCCM
PIPG-SC101-WR-01-0020 | 20 SCCM

應(yīng)用領(lǐng)域

系統(tǒng)搭建

標(biāo)定臺(tái)系統(tǒng)搭建中的流量控制設(shè)備

設(shè)備集成

需要大范圍調(diào)整流量的流控系統(tǒng)或設(shè)備集成

簡(jiǎn)化集成

為簡(jiǎn)化集成設(shè)備或?qū)υO(shè)備體積比較敏感的客戶

實(shí)驗(yàn)研究

需要調(diào)控比較大流量范圍的實(shí)驗(yàn)研究場(chǎng)合

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