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SC100-WR寬量程型

更寬量程范圍內保證產品精度

最小流量：0.1SCCM 最大流量：500SLPM

SC100-WR寬量程氣體層流質量流量控制器在SC100標準型層流質量流量控制器的基礎上提高2倍的可精確測量范圍，實現在10%~100%的量程范圍內達到1%設定值精度，并通過產品內置的壓力、溫度傳感器的精確補償及獨創核心算法，在低零點、溫度、壓力漂移量上表現出了杰出性能。同時，內置多種氣體和混氣設置，觸屏式操作的自由切換，有效簡化了系統的復雜度，減少客戶采購成本，提高系統的穩定度。

特征

原理

層流壓差式

流量控制器

層流壓差式流量控制器
保證精度的流量范圍

10%~100%

F.S.

10%~100%F.S.
高精度

±1.0%

設定值精度

±1.0%設定值精度
高重復性

±0.1%

F.S.

±0.1%F.S.
自由切換更改氣體介質、

觸屏點擊輸入設定流量

調整混合氣體比例和修改部分參數信息

觸屏點擊輸入設定流量調整混合氣體比例和修改部分參數信息
寬溫度、壓力適用范圍

-20℃~60℃、1Mpa

以內

-20℃~60℃、1Mpa以內
可切換

流量計模式

使用

流量計模式使用
實時顯示

4種

過程變量

4種過程變量
內置

70+種

氣體和混氣測量

70+種氣體和混氣測量

使用條件

兼容內置

70+種氣體和可編輯的混合氣體

Compatible

工作流量范圍

1%~120%F.S.

Working flow range

介質溫度

-20℃~60℃

Medium temperature

環境溫度

-20℃~50℃

Ambient temperature

使用濕度

0%~98%（無冷凝）

Operating humidity

最大工作壓力

1Mpa

Working pressure

耐壓

1.5Mpa

Withstand voltage

供電電壓

﹢（18~30）VDC

Supply voltage

消耗電流

＜150mA (供電電壓為24v時)＜300mA（＜5V）

Current consumption

安裝方式

無指定（任意角度）

Installation method

規格型號

PIPG-SC101-WR（微流量）

PIPG-SC101-WR-00-0500 | 0.5 SCCM
PIPG-SC101-WR-01-0001 | 1 SCCM
PIPG-SC101-WR-01-0002 | 2 SCCM
PIPG-SC101-WR-01-0005 | 5 SCCM
PIPG-SC101-WR-01-0010 | 10 SCCM
PIPG-SC101-WR-01-0020 | 20 SCCM

應用領域

系統搭建

標定臺系統搭建中的流量控制設備

設備集成

需要大范圍調整流量的流控系統或設備集成

簡化集成

為簡化集成設備或對設備體積比較敏感的客戶

實驗研究

需要調控比較大流量范圍的實驗研究場合

撥打電話咨詢

微信掃碼咨詢

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