最小流量：20 SCCM 最大流量：500 SLPM
E100氣體層流質量流量計與在原有的M100系列做了產品的升級，通過產品內置的壓力、溫度傳感器的精確補償及獨創核心算法，在低零點、溫度、壓力漂移量上表現出了杰出性能。同時，內置多種氣體和混氣設置，數字式和模擬式的通訊方式，實現流量的精確測量。
E100A 通用型 | 20 SCCM ~ 500 SLPM
