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層流質量流量計 Laminar mass flow meter

易度-氣體質量流量計

層流質量流量計【LAMINAR MASS FLOW METER，簡稱MFM】基于內部補償型層流壓差專利技術【專利號:ZL 2015 1 0610446.0】，內置壓力和溫度傳感器，能充分補償因溫度和壓力引起的體積流量和質量流量間的差異，可快速精確測量過程氣體的實時溫度、壓力、工況流量、標況流量和累計流量五大參數。如您需要精確和快速測量氣體流量、泄露率檢測或作為標準表進行量值傳遞與校準等，可選用易度的流量計。

結構和工作原理

層流質量流量計由層流元件、壓力傳感器、壓差傳感器、溫度傳感器和電路部分組成。

1

氣體由入口處進入

經過層流元件將不規則的湍流狀態規整為規則的層流運動狀態
2

通過內置的壓差傳感器

測得層流元件的兩端壓力差，轉化為電信號，計算工況流量
3

通過溫度傳感器和壓力傳感器

實時采集并修正補償因溫度和壓力造成的波動，計算為標況體積流量，即質量流量。

性能優勢

無需轉換系數

多氣體、多量程

70+種氣體、混氣

多氣體、多量程70+種氣體、混氣
高精度

0.5~1.0級

讀數精度

0.5~1.0級讀數精度
響應時間

100ms

無需預熱

100ms無需預熱
溫度、壓力、標況流量

五大實時參數

工況流量、累積流量

五大實時參數工況流量、累積流量
可選擇的

觸摸式顯示屏、電池包

觸摸式顯示屏、電池包
零點漂移量

<± 0.06%F.S./年

無校準情況下

<± 0.06%F.S./年無校準情況下
壓力漂移量

<± 0.02%F.S./atm

無校準情況下

<± 0.02%F.S./atm無校準情況下
溫度漂移量

< ±0.01%F.S./℃

無校準情況下

< ±0.01%F.S./℃無校準情況下

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