最小流量：0.1SCCM 最大流量：500SLPM
SC200高精型氣體層流質(zhì)量流量控制器向?qū)刂凭扔懈咝枨蟮目蛻籼峁┯嬃考壍木鹊燃墸?plusmn;0.5%設(shè)定值精度），通過產(chǎn)品內(nèi)置的壓力、溫度傳感器的精確補(bǔ)償及獨創(chuàng)核心算法，在低零點、溫度、壓力漂移量上表現(xiàn)出了更高性能。同時，內(nèi)置4種標(biāo)況溫度（0℃、15℃、20℃、25℃）可供選擇，并實時顯示溫度、壓力、標(biāo)況流量、工況流量。
PIPG-SC201-00-0500 | 0.5 SCCM
PIPG-SC201-01-0001 | 1 SCCM
PIPG-SC201-01-0002 | 2 SCCM
PIPG-SC201-01-0005 | 5 SCCM
PIPG-SC201-01-0010 | 10 SCCM
PIPG-SC201-01-0020 | 20 SCCM
PIPG-SC202-01-0050 | 50 SCCM
PIPG-SC202-01-0100 | 100 SCCM
PIPG-SC202-01-0200 | 200 SCCM
PIPG-SC202-01-0500 | 500 SCCM
PIPG-SC202-01-1000 | 1000 SCCM
PIPG-SC202-01-2000 | 2000 SCCM
PIPG-SC220-02-0005 | 5 SLPM
PIPG-SC220-02-0010 | 10 SLPM
PIPG-SC220-02-0020 | 20 SLPM
PIPG-SC220-02-0050 | 50 SLPM
PIPG-SC220-02-0100 | 100 SLPM
PIPG-SC220-02-0200 | 200 SLPM
PIPG-SC250-02-0500 | 500 SLPM
PIPG-SC250-02-1000 | 1000 SLPM
PIPG-SC250-02-1500 | 1500 SLPM
PIPG-SC250-02-2000 | 2000 SLPM
PIPG-SC250-02-3000 | 3000 SLPM
PIPG-SC250-02-4000 | 4000 SLPM
PIPG-SC250-02-5000 | 5000 SLPM
PIPG-SC201-00-0500 | 0.5 SCCM
PIPG-SC201-01-0001 | 1 SCCM
PIPG-SC201-01-0002 | 2 SCCM
PIPG-SC201-01-0005 | 5 SCCM
PIPG-SC201-01-0010 | 10 SCCM
PIPG-SC201-01-0020 | 20 SCCM
