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M100-WR寬量程型
更寬量程范圍內保證產品精度

最小流量：0.1SCCM     最大流量：5000SLPM

M100-WR寬量程氣體層流質量流量計在M100標準型氣體層流質量流量計的基礎上提高2倍的可精確測量范圍，實現在10%~100%的量程范圍內達到1%讀數精度，并通過產品內置的壓力、溫度傳感器的精確補償及獨創核心算法，在低零點、溫度、壓力漂移量上表現出了杰出性能。同時，內置多種氣體和混氣設置，有效簡化了系統的復雜度，減少客戶采購成本，提高系統的穩定度。

特征
  • 原理
    層流壓差式
    流量計
    層流壓差式流量計
  • 保證精度的流量范圍
    10%~100%
    F.S.
    10%~100%F.S.
  • 高精度
    ±1.0%
    讀數精度
    ±1.0%讀數精度
  • 高重復性
    ±0.1%
    F.S.
    ±0.1%F.S.
  • 兼容數字信號、模擬信號
    (4~20)mA和RS485
    傳輸方式
    (4~20)mA和RS485傳輸方式
  • 內置
    70+種
    氣體和混氣測量
    70+種氣體和混氣測量
  • 提供
    上位機軟件
    實時顯示和下載數據信息
    上位機軟件實時顯示和下載數據信息
使用條件
兼容內置
70+種氣體和可編輯的混合氣體
Compatible
工作流量范圍
1%~120%F.S.
Working flow range
介質溫度
-20℃~60℃
Medium temperature
環境溫度
-20℃~50℃
Ambient temperature
使用濕度
0%~98%（無冷凝）
Operating humidity
最大工作壓力
1Mpa
Working pressure
耐壓
1.5Mpa
Withstand voltage
供電電壓
24V ±20%
Supply voltage
消耗電流
＜150mA (供電電壓為24v時) ＜300mA（＜5V）
Current consumption
安裝方式
無指定（任意角度）
Installation method
資源 5
資源 5
規格型號
PIPG-M101-WR（微流量）

PIPG-M101-WR-00-0500  |  0.5 SCCM
PIPG-M101-WR-01-0001  |  1 SCCM
PIPG-M101-WR-01-0002  |  2 SCCM
PIPG-M101-WR-01-0005  |  5 SCCM
PIPG-M101-WR-01-0010  |  10 SCCM
PIPG-M101-WR-01-0020  |  20 SCCM

應用領域
標準表

標定臺系統搭建中的標準表

系統設備集成

需要大范圍調整流量的流控系統或設備集成

簡化集成

為簡化集成設備或對設備體積比較敏感的客戶

實驗研究

需要調控比較大流量范圍的實驗研究場合

資源 5
資源 5
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