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  • M系列氣體層流質量流量計
    高品質配套過程測量的質量流量計

    最小流量:0.1SCCM     最大流量:5000SLPM

    M系列氣體層流質量流量計與S系列的區別在于沒有觸摸式顯示屏,特有的層流壓差技術,配合高精度壓力、溫度傳感器實現的補償,及獨創核心算法,使得產品具有高精度、高重復性、低零點、溫度、壓力漂移量的特點,模擬信號和數字信號的通訊方式,適用于配套過程控制的客戶。

    特征
    • 適用范圍
      寬溫度、壓力
      寬溫度、壓力
    • 量程范圍
      0.5sccm~5000slpm
      0.5sccm~5000slpm
    • 高精度(可溯源)
      ±0.5%~±1.0%
      讀數精度
      ±0.5%~±1.0%讀數精度
    • 快速響應
      100ms
      無需預熱
      100ms無需預熱
    • 通訊方式
      RS485,0-5V/4~20mA
      兼容數字信號、模擬信號
      RS485,0-5V/4~20mA兼容數字信號、模擬信號
    • 提供
      上位機軟件
      進行數據采集和下載
      上位機軟件進行數據采集和下載
    • 高可靠性
      高抗過載、抗電磁干擾
      能力
      高抗過載、抗電磁干擾能力
    • 寬量程比
      100:1
      100:1
    應用領域
    消耗測量

    用于內部會計目的的氣體分配系統中的氣體消耗測量

    設備配套

    流量型檢漏設備配套

    流量監控

    食品、化工等行業的氣體流量監控

    密封性測試

    快速密封性測試

    技術參數

    型     號

    PIPG-M101

    PIPG-M201

    PIPG-M102

    PIPG-M202

    PIPG-M120

    PIPG-M220

    PIPG-M150

    PIPG-M250

    流量規格

      0.5、1、2 、

    5 、10、20SCCM

      50、100、200 、

    500 、1000 、2000SCCM

      5、10 、20 、

    50 、100 、200 SLPM

    500、1000、1500、

    2000、3000、4000、5000SLPM

    性能參數

    準 確 度

    M100:±1.0%Rd(20%~100%量程范圍)或 ±0.2%F.S.(≤20%量程范圍)(Rd-讀數 F.S.-滿量程)

     

    M200:±0.5%Rd(20%~100%量程范圍)或 ±0.1%F.S.(≤20%量程范圍)(Rd-讀數 F.S.-滿量程)

     

    M100-WR:±1.0%Rd(10%~100%量程范圍)或 ±0.1%F.S.(≤10%量程范圍)(Rd-讀數 F.S.-滿量程)

    重復精度

    M100:±0.2%F.S. 

     

    M200:±0.1%F.S.

     

    M100-WR:±0.2%F.S.

    壓力漂移 Zero:≤±0.2%F.S./100kPa;Span:≤±0.2%F.S./100kPa(基準100kPa(絕壓))

    溫度漂移

    Zero:≤±0.02%F.S./℃;Span:≤±0.02%F.S./℃(基準溫度25℃)

    工作范圍

    1%~100%F.S.(最大可達120%F.S.)

    響應時間

    ≤100ms

    啟動預熱時間

    ≤1s

    使用條件

    介質溫度范圍

    -20℃~60℃         

    環境溫度范圍 -20℃~50℃

    使用濕度范圍

    0%~98%(無冷凝)

    滿量程壓損 4kPa

    耐     壓

    1.5MPa

    工作壓力范圍

    60kPa~1MPa

     供電電壓

    24V±20%

    消耗電流

    < 150mA(<3W)

    安裝方式

    無指定(任意角度)

    接氣部材質

    SUS316L

    輸出方式

    標配:數字:RS485;    選配:PROFIBUS    模擬:0~5V/4~20mA

    尺寸圖
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    產品系列
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