最小流量：0.5 SCCM 最大流量：5000 SLPM
E300氣體層流質(zhì)量流量計與在原有的M100系列做了產(chǎn)品的升級，通過產(chǎn)品內(nèi)置的壓力、溫度傳感器的精確補償及獨創(chuàng)核心算法，在低零點、溫度、壓力漂移量上表現(xiàn)出了杰出性能。同時，內(nèi)置多種氣體和混氣設(shè)置，數(shù)字式和模擬式的通訊方式，實現(xiàn)流量的精確測量。
E300A 通用型 | 0.5 SCCM ~ 5000 SLPM
