2023 / 05 / 30
氣體質量流量控制器是配氣儀中的核心部件，可提供精確、穩定的氣體流量控制，讓氣體混合、稀釋更便捷。
易度MC100標準型質量流量控制器采用層流壓差式原理，具有高可靠、高穩定、高精度和高重復性的優勢，同時在抗過載能力和抗污染能力上表現優越，助力配氣儀廠商實現更精準的氣體濃度混合配比。
應用要求：
配氣儀的氣體配比通常為100:1等，常見的有兩路甚至更多，一般兩路為一路標氣，一路稀釋氣體。要實現精準配氣，需要流量控制器在各流量點控制氣體準確度高，重復性好，同時對壓力波動不敏感。
常見配氣儀氣體配比圖
主要問題：
1、控制穩定：配氣儀受前端壓力波動影響大，影響流量穩定性，要求流量控制器具有高穩定性，減少壓力波動影響；
2、無漏氣：要求流量控制器內置的比例調節閥流量為零時，要處于常閉狀態，閥門不漏氣，無流量；
3、抗污染能力：配氣儀介質用到腐蝕性氣體，造成流量控制器流道易堵塞，堵塞與流道管徑的粗細直接相關；
4、抗過載能力：配氣儀控制氣體從低流量點切換到高流量點時，受到瞬間大流量沖擊，抗過載能力弱會直接影響流量控制器的使用壽命。
解決方案：
1、高穩定性：易度流量控制器內置高精度壓力、溫度傳感器,可進行溫度、壓力的實時補償，700ms的快速響應時間，快速糾正、保持氣體控制的流速恒定，提供穩定的氣體流量控制；
2、無漏氣：易度流量控制器內置的比例調節閥系自主研發，結構緊湊，密封性好，不漏氣，無流量；
3、抗污染能力強：易度流量控制器氣體流道為單通道設計，流道管徑相對較粗，不易受到氣體的污染，造成堵塞；
4、抗過載能力高：易度流量控制器內置的壓差傳感器，可承受50倍及以上的過載流量，抗過載能力強，解決配氣儀低流量段瞬間過載問題。
