2022 / 10 / 31
氣體微流量測量與控制一直以來是高端制造業的重要核心技術之一，而這一核心技術領域的核心傳感器和控制零部件就是今天我們要集中討論的氣體質量流量計與氣體質量流量控制器。
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當然顧名思義是用來測量和控制氣體流量的。這里的氣體并不是指家里的天然氣，或者傳統能源與化工企業、發電廠等的用的氣體，這些場景下測量與控制的氣體流量與對應的管徑一般相對較大，氣體流量大多在15m³/小時以上 ，而對應的管徑從直徑15mm到3000mm不等（甚至更大）。
我們這里討論的氣體質量流量計與氣體質量流量控制器指的是適用于小微流量（從0.000001m³/小時到300m³/小時，對應管徑從直徑3mm到65mm）氣體測量和控制的傳感器和設備，它要求體積非常小（一般如手掌大小），測量和控制非常精細（重復性精度優于千分之二，并需要承受環境溫度和壓力以及不同氣體工作介質造成的影響），目前滿足上述要求的氣體質量流量計與氣體質量流量控制器主要有兩種原理的產品，分別為：1、層流原理的氣體質量流量計與氣體質量流量控制器2、熱式原理的氣體質量流量計與氣體質量流量控制器。
